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过去,硬质合金刀具表面涂层采用高温化学气相沉积(HTCVD)工艺。在常压或负压的沉积系统 中,将纯净的H2、CH4、N2、TiCl4、AlCl3、CO2等气体根据沉积物的成分,按一定配比均匀混和,依次涂到具备一定温度(一般为 1000~1050℃)的硬质合金刀片表面,即在刀片表面沉积TiC、TiN、TiCN、Al2O3或者它们的复合涂层。直到现在,HTCVD仍是使用最 多的工艺方法,除HTCVD外,还有等离子体化学气相沉积(PCVD)工艺,它是在硬质合金刀具(刀片)表面涂层的另一种方法,因这种涂层工艺温度较低 (700~800℃),故刀片的抗弯强度降低。因为TiC与基体材料的线膨胀系数最接近,通常用TiC薄层先涂在基体表面上,外面再涂TiN、 Al2O3,如TiC/TiN、TiC/Al2O3、TiC/TiCN/TiN等。
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来自:钨钢成型刀