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非金刚石基底上沉积金刚石的方法

  • 发布时间:2016-1-31
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  • 作者: admin

  加压过程中的压力与升压、终压有所不同,叶蜡石腔体中的压力与顶锤部的压力也不一样,图1、图2所示的压力是指顶锤部的压力。温度是腔温。时间是加热时间、保温时间与降温时间等过程的总和,对于各种压机,这些参数将有所不同,本文给出的数据只是一个大概的数字。 类似热压法制造PCD,还有“爆炸法”,在容器中利用炸药爆炸产生高温高压,而使石墨转化为金刚石。爆炸法的工艺和产品质量均不易控制,故很少正式使用。

  CVD法是一种气相沉积法。属于这种工作原理在非金刚石基底上沉积金刚石的方法很多,如“热丝法CVD法”、“电子增强CVD法”、“微波PCVD法”、“射频PCVD法”、“直流PCVD法”、“直流电弧PCVD法”、“直流等离子体喷射CVD法”、“电子回旋共振PCVD法”、“火焰燃烧法”、“准分子激光CVD法”等。“热丝CVD法”最为常用。

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